氣路備件
說明  | 規(guī)格  | 使用  | 單位  | 7700 部件號  | 7500 部件號  | 
帶內(nèi)套管的等離子體/輔助管線  | 0.2m  | 2/包  | G3280-67023  | ||
等離子氣路/輔助氣路的接頭,PTFE  | 6mm和4mm  | 用于到炬管的氣路連接  | 各1個  | G1820-65027  | G1820-65027  | 
用于載氣/輔助氣/混合氣氣路的內(nèi)套管  | CTFE  | 用于將氣路管線連接到接頭  | 5/包  | 5042-0922  | |
等離子氣路的內(nèi)套管  | CTF  | E用于將氣路管線連接到接頭  | 5/包  | 5042-0923  | |
載氣/補充氣/稀釋氣體管  | G3280-67022  | ||||
用于稀釋氣體端口的氣體連接器  | 用于連接稀釋氣體線到稀釋端口  | 0100-2583  | |||
氬氣管組件包  | 1/4英寸外徑,5m, 內(nèi)套管,接頭  | 用于外部管線  | G1820-65023  | ||
載氣/混合氣的管線,PTFE  | 3mm內(nèi)徑, 4mm外徑,35cm  | 用于連接霧化器的氣路管線  | 2/包  | G1833-65414  | |
等離子體和輔助氣路管線  | 3.17mm內(nèi)徑, 6.35mm外徑,35cm (用于等離子體) 2.38mm內(nèi)徑, 3.96mm外徑,35cm (輔助氣體)  | 用于到炬管的氣路連接  | 2/包  | G3270-65021  | |
氬氣增濕器  | G3270-80029  | G3270-80029  | |||
氬氣過濾器  | G1820-80341  | G1820-80341  | |||
氬氣清洗氣過濾器  | 半導體應(yīng)用  | 5064-8092  | 5064-8092  | ||
用于7700x/e的氬氣管路組件包  | 用于外部管線  | G3280-60160  | |||
用于7700s的氬氣管組件包  | 用于外部管線  | G3280-60163  | |||
不銹鋼管  | 外徑1/8英寸,6米  | 用于外池氣路  | G3270-65035  | G3270-65035  | 
說明  | 部件號  | 
三聯(lián)過濾柱,用于超凈氣體凈化系統(tǒng),底盤型  | 5182-9705  | 
用于氣體過濾器的更換O-型圈,8/包,兩種尺寸,每種尺寸4個  | 5182-3423  | 
說明  | 部件號  | 
氦氣的調(diào)壓表  | 0101-1398  | 
氫氣調(diào)壓表  | 0101-1399  | 
氬氣調(diào)壓表  | 0101-1400  | 
用于NH3/氦氣的調(diào)壓表  | 5188-5374  | 
說明  | 規(guī)格  | 使用  | 7500部件號  | 
用于端蓋帽和氣路管線的接頭  | 用于將氣路連接到霧化器  | 5063-5263  | |
等離子氣路/輔助氣路的接頭,PTFE  | 6mm和4mm  | 用于到炬管的氣路連接  | G1820-65027  | 
載氣氣路的接頭,PTFE  | 4mm管線,包括密封圈和O-形圈  | 連接Babington霧化器的氣路管線  | G1820-65214  | 
用于載氣氣路的接頭,聚丙烯  | 4mm管線,包括密封圈和O-形圈  | 用于將氣路連接到同軸霧化器  | G1820-65052  | 
混合氣氣路的接頭,聚丙烯,2/包  | 4mm管線  | 用于連接交叉流到Babington霧化器的氣路管線  | G1820-65119  | 
補充氣路的接頭,聚丙烯  | 4mm管線,Luer型  | 用于連接交叉流到Babington霧化器的氣路管線  | G1833-65477  | 
兩通接頭  | 4mm管線  | 用于PFA同軸霧化器  | 5064-8078  |